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      真空镀膜设备真空测量
      发布时间:2014-02-28 浏览:5337 次

          真空测量是指用特定的仪器、对某一真空镀膜设备空间内真空度高低的量度。因此真空测量仪表好坏直接影响设备正常运行。真空计的种类很多,大体上可分绝对真空计和相对真空计两大类。凡通过测定物理参数直接计出气体压强的真空计称为绝对真空计。通过测量与压强有关物理量,并进行计算得到压强值的真空计称为相对真空计。绝对真空计精度较高,一般作为标准用,在实际生产中,大都使用相对真空计。

       

          相对真空计的校准,可用标准水银真空计进行对比校准。在没有水银真空计的条件下,可进行满偏和零位校准。满偏校准是指在大气压条件下,把真空计调至满偏,零位校准是指达到最高真空度进行调试或用未开封的玻璃真空规管进行校准(标准为5.5×10-3Pa)。

       


          在实际工作中,如何根据真空镀膜设备的要求选用合适的真空计,按以下几个原则选用:
      (1)所用真空计的测量范围应比被测压力范围宽1—2数量级。
      (2)对真空计精确度,重复性、可靠性的要求应满足工艺要求。
      (3)应注意真空计是否与被测气体种类有关。
      (4)应注意真空计是否有切换功能,读数反应迅速与否。
      (5)应注意真空规管安装位置和环境的要求。
      (6)真空镀膜设备真空计价格是否适宜以及该计是否易于维护等。

       

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