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      镀膜设备真空检漏
      发布时间:2014-03-01 浏览:3253 次

          镀膜设备真空检漏是真空获得保证,它是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气是影响真空获得和真空维持的主要因素之一。

       

          由于镀膜设备漏孔存在会抵消真空泵部分抽气作用,延长抽气时间,降低镀膜设备的极限真空。即使在动态情况下能够达到较高真空度,待与真空抽气系统连接阀门关闭,静态内部压力会迅速上升,严重影响器件的工作特性及寿命。
           镀膜设备真空系统漏气是绝对的,不漏气是相对的,对于动态真空系统,只要其平衡压力
      能够达到所要求的真空度,这时即使存在着漏孔,也可以为该系统的漏率是容许的,动态真空系统的最大容许漏率Q一应满足公式   Q max≤ 1/1O PS式中 P---系统工作压力  S---系统的有效抽速
           对于静态真空系统,要求在一定时间内,其压力维持在容许的压力以,这时即使存在着漏
      孔,同样可以认为该系统的漏率是容许的,静态真空系统最大容许漏率Q max应满足公式Q max≤ (Pt---P)V/t 式中P---系统工作压力  Pt—系统极限压力      V--- 系统容积        t--时间


            镀膜设备检漏方法的分类检漏的方法很多,但各有特点和使用范围,究竟选用哪种方法比
      较合适,要根据具体情况而定,作为比较理想的检漏方法应该满足下述几方面的要求:

      (1)镀膜设备检漏灵敏度高,满足少于被检漏率二个数量级以上。
      (2)反应时间短,则找出一个漏孔的时间就短。
      (3)能定位,定量测得漏率大小。
      (4)能无损、无污染的检漏。
      (5)检漏范围广,从大漏到小漏都能检。
      (6)检漏仪器应结构简单,操作维修方便。
           然而上述要求也是有矛盾的,要求一种方法同时满足上述要求也是不可能的。一般灵敏度
      高检漏仪结构比较复杂,使用和维修都比较困难。价格也相当贵。所以只能针对不同检漏对象来选择合适的方法。以解决主要矛盾为原则。

           镀膜设备很多与电、电磁、水、气源和制冷有关。有的是机械装配中的不细心造成的,有的是绝缘材料或结构上的问题。真空设备出现故障,我们的经验是不要急于下结论,不要急于拆卸设备、应认真分析故障现象,以先易后难的原则使用排除法来进行。先用真空仪表大概判断出设备状态。然后对真空泵单独测试和整个真空机组进行检测,在确保真空获得无问题情况下。进行真空检漏,镀膜设备检漏根据问题论述原则,选检漏仪与检漏方式。先进行静态升压试验,判断漏气和放气。然后进行分段与整体检漏,找出漏点,并确定其漏率大小。

                  东莞爱加真空科技有限公司专业提供真空镀膜设备保养,真空镀膜设备升级改造,Polycold补集泵销售、维修,同时还是美国野马真空系统中国华南区总代理,如您的真空镀膜设备有问题,请联系我们

       

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