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      真空镀膜设备选择要点
      发布时间:2014-03-06 浏览:2700 次

          真空镀膜设备选择要点,还有多少不为人知的镀膜设备选择方法与要求呢?下面东莞爱加真空镀膜设备维修专家与大家一起分享!

      ▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

      ▲加热形式有电阻及感应式两种,电阻加热材料有钼丝(带)、钨丝(带)、石墨棒(板)、钽
      棒、镍铬丝(带)几种类型,可根据不同的温度和工艺要求进行选择。

      ▲加热保温层有金属型和复合型两种,根据不同工艺条件进行选择。

      ▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等以及与它们相匹配的各种气动、手
      动、电动阀门、管道等组成,根据工艺要求可自行选择。

      ▲温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。

      ▲真空测量可选择数字式智能真空计及优质的测量规管,确保真空度的准确性及产品可靠性。

      ▲可以配备多点记录仪,进行全程工艺分析、质量监控及生产管理。

      ▲根据镀膜设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

      ▲可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等,满足充气压力可控、多路充
      气等要求。

      ▲对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不
      足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应?;ご胧?。

      ▲快冷却系统可选择自然冷却及热交换器循环方式,对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统
      ,提高降温速度。

      ▲对于感应加热电源可选择中频可控硅电源或IGBT电源

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